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語言

激光干涉儀測量五軸機床平移軸直線度誤差的應用原理

2022-11-17 0

  激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。



  激光干涉儀最典型的應用就是測量機床精度,本文講解如何使用激光干涉儀測量五軸機床平移軸直線度誤差。


  對于平移軸而言,每根軸均有兩個直線度誤差,因此三根軸有六個直線度誤差,均可采用激光干涉儀分別測得。


  原理:帶有圓孔的是直線度干涉鏡,其與待測軸相連一同運動;長條鏡是直線度反射鏡靜止安裝,其是對稱結構,上下左右均對稱。當一束激光從源頭發出射入干涉鏡,干涉鏡將光束分成兩束,形成一個很小的角度分別去往反射鏡,由于反射鏡上下對稱,因此兩束光被反射后又回到干涉鏡,匯合成一股光束,去往激光頭的探測器。當運動軸產生直線度誤差時,會使得干涉鏡相對于反射鏡在水平橫向方向發生相對運動,而反射鏡是左右對稱的(左右的鏡片不在同一平面,有一定的角度),因此會使得兩束分開的光束光程具有差別,根據此差別,即可測得運動軸產生的直線度誤差。


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